IT之家7月18日消息，近日，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）正式发布了适用于Bevel Etch工艺的12英寸等离子刻蚀机BE。 号称实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破，为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。
▲ 图片来源北方华创公众号
据介绍，在器件制造过程中，由于薄膜沉积、光刻、蚀刻和化学机械抛光等工艺步骤大幅增加，不可避免的副产物和残留物会积累在晶圆边缘。 这些晶边沉积副产物和残留物突然增加带来的缺陷风险已成为产品良率的严重威胁。 因此，越来越多的逻辑和存储芯片领域的厂商开始关注12英寸晶圆边缘的1mm区域。 边缘位置旨在提高芯片产量。 作为行业提高良率的有力保障，蚀刻边机的重要性日益凸显。
BE是国内首台国产12英寸斜边蚀刻设备，其技术性能“达到行业主流水平”。 IT之家官方宣传亮点如下：
北方华创表示，BE一经推出就已获得逻辑和存储器领域领先客户的多个订单，并通过工艺调试进入量产阶段。
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